Kontrola čistoće u mesinganim spojnicama u Posemiconductor Specijalnim plinskim sustavima
Uvod u Posemiconductor Specijalne plinske sustave
Postupci za proizvodnju poluvodiča zahtijevaju ultra čista, visoko kontrolirana okruženja.
Specijalni sustavi za isporuku plina igraju kritičnu ulogu u koracima jetkanja, taloženja, dopinga i čišćenja.
Plinovi poput silana, amonijaka, hidrogen klorida i dušikovog trifluorida zahtijevaju transportne staze visoke čistoće.
Mesingani priključci, iako ne uvijek prvi izbor, ponekad se primjenjuju u sekundarnim linijama ili sustavima za podršku.
OdržavanjeKemijska čistoća i strukturni integritetmesinganih okova od vitalnog je značaja za izbjegavanje onečišćenja.
Važnost čistoće materijala u primjenama poluvodiča
Poluvodiči su izuzetno osjetljivi na nečistoće na molekularnoj razini.
Čak i zagađenje dijelova po milijardi (PPB) iz cjevovoda ili okova može dovesti do gubitka prinosa ili kvara uređaja.
Nadlega, korozija ili površinske reakcije u plinskim linijama moraju se čvrsto kontrolirati.
To čini odabir materijala i upravljanje čistoćom središnjim za dizajn plinskog sustava.
Mesing, s pravilnom završnom obradom i kontrolom kvalitete, može zadovoljiti ove standarde u nekritičnim plinskim linijama.
Mesingani materijalni sastav i brige
Standardni mesing je legura bakra i cinka, koji ponekad sadrže olovo ili kositar.
Nečistoće poput sumpora, fosfora ili zaostalih ulja mogu ugroziti razinu čistoće.
Mesing s visokim olovom strogo se izbjegava u aplikacijama za čistu sobu ili poluvodiča.
Samorezistentni na dezincifikaciju (DZR)Mesinga treba uzeti u obzir za takvo okruženje.
Proizvođači moraju pružitimaterijalni certifikatiPotvrda poštivanja polu -, ASTM ili ROHS standarda.
Površine površinske završne obrade i elektropopolifikacije
Unutarnja površinska završna obrada mesinganih spojnica uvelike utječe na čistoću plinskog sustava.
Grube ili porozne površine hvataju vlagu, ugljikovodike i čestice, uzrokujući dugotrajnu kontaminaciju.
Da bi se suprotstavili tome, priključci su čestoelektropopoliDa bi se postigla glatka, pasivirana unutarnja površina.
Ciljna hrapavost površine (RA) obično je manja od0.2 µmza linije distribucije plina.
Poslije poliranja, okovi se podvrgavaju čišćenjuUltrapurna otapalanakon čega slijedi sušenje vakuuma i čišćenje dušika.
Kontrola čestica i ambalaža čistog sobe
Mesingani okovi za plinske sustave poluvodiča moraju se zadovoljiti strogimSpecifikacije broja čestica.
Bilo koje labave čestice ili metalne pahuljice mogu biti pogubne za plin osjetljive na vafle.
Da bi se riješili, okovi prolaze visoku čistoćuultrazvučno čišćenjeKoristeći DI vode i 100. standarda čistog sobe.
Jednom očišćeni, okovi sudvostruko prepunu ambalaži čistog sobe kako bi se spriječilo ponovnu kontaminaciju.
Oznake često uključuju sljedivost, informacije o čišćenju i pokazatelje kontrole vlage.
Pasivacija i premazi za kemijsku stabilnost
Budući da je mesing reaktivniji od nehrđajućeg čelika, površinska pasivacija je presudna.
Metode pasivacije uključuju kontroliranu oksidaciju, prevlake bez kroma ilinikla.
Nikal ili elektroležni nikl premazi služe kao barijerski sloj kako bi se spriječilo ispiranje cinka ili oksidacija.
Ovaj premaz također povećava kemijsku kompatibilnost s plinovima kao što su HF ili CLF₃.
Redovne provjere debljine premaza i ispitivanje adhezije osiguravaju trajnost u sustavima pod tlakom.
Inspekcija, certificiranje i sljedivost
Mora proći mesingani mesingainspekcija na više razinaprije integracije u plinske linije.
Ispitivanje uključuje:
Ispitivanje propuštanja helija (obično<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Analiza preostalog plina (RGA)
Testovi prolijevanja čestica mikrobalancije
XRF ili ICP-MS za provjeru materijala
Svako uklapanje treba biti u potpunostiPrati se prema broju lota, s povezanimPotvrde o sukladnosti (COC).
Neki objekti zahtijevaju revizije treće strane ili dokumentaciju o certifikaciji ISO 14644.
Granice i alternative prijave
Dok mjed može ispunjavati kriterije čistoće, njegova je upotrebaograničeno na nekritične stazeu poluvodičkim fabu.
Za ultra visoke plinske linije čistoće (UHP),316L nehrđajući čelik s VCR ili orbitalnim zavarivanjempreferira se.
Mesingani priključci mogu se primijeniti u ispušnim sustavima, linijama za čišćenje iliObradni vodeni sustavi za hlađenje.
Kad se pravilno odabere i tretira na odgovarajući način, mesing pruža isplativo, stabilno rješenje.
Budući napredak u tehnologiji premaza i čišćenja može proširiti svoju korisnost u poluvodičkim aplikacijama.
Zaključak
Kontrola čistoće u mesinganim spojnicama za Specijalne plinske sustave poluvodiča je i složena i bitna.
Od odabira materijala do završne obrade površine i pakiranja, svaki korak utječe na kvalitetu plina.
Iako mesing nije idealan za aplikacije visoke čistoće, napredni tretman i kontrola kvalitete mogu ga učiniti održivim u odabranim zonama.
Kroz rigoroznu inspekciju, pasivaciju i certificiranje, ovi okovi mogu sigurno podržati proizvodno okruženje čipova sljedeće generacije.
Kontaktirajte IFAN
Telefon:+86 15088288323
E -pošta:sales24-ifan@ifangroup.com
